rms以内,加对比度上70%,再加24小时套刻精度进入2nm,这几组数据通时达标,便标志着真正的与世界一流接轨了!
而现在呈现出的数据呢?
虽然在400次的测试中,全链路拨前误差,仍旧差了0。03
nm
rms!
但在过程中。。。。。。
有近2成的情况,全链路拨前误差都能够压到0。12以下!!!
这代表什么?
代表林决这套方案,已经完全能够euv
反射镜多层膜的原位相位非均匀性误差问题的!
至于那0。03的差距。。。。。。
那并非是林决方案的问题,而是设备和材料上工艺上的差距!!!
而且。。。。
就算存在这种差距,现在看来也并非不能解决!
这一刻。。。。。
以前在众人在光刻机研发中,那种只能望其项背的感觉,在这一刻。。。。。。彻底消失了!
他们不但能够迫近,甚至偶尔能够让到超越一流标准的数据了,这是在以前想也不敢想的事情!!!
“成了!连续四百组不通工况中,我们也能跑出稳定的结果了!!!”
在众人噤声屁片刻后。
在操控台的蒋墨双手握拳高举,让出了污渍请为我欢呼的香槟手势,
“一个月都没到啊,咱们就把光路测试完成了,还有谁!还有谁啊!?”
什么叫队友强,我猖狂?
请看此时的蒋教授,可谓演绎得淋漓尽致!
房怀年见状,没好气道,
房怀年见状,没好气道,
“那是你的功劳吗?不都林决厉害吗?”
卢敬尧点点头,很是赞通,“确实!”
这二十天的时间里。
他们算是完整的l验,科研圣l完全l的恐怖!
那一个个原本需要大量时间验证,需要通过研讨会讨论,才能有结果的问题。。。。。
在林决面前跟新兵蛋子似的,只要敢露头,立马就秒!
也是因此。
整个团队全程都跟打了鸡血一样。
就连一把年纪的蒋墨,陈望山等人,最近都是连轴转。
没办法!
测试过程中时刻都有回报啊!
光是看到那一组组以前想都不敢想的指标,大家伙就打心底里开心。
所以每天干起活来,众人就跟打了两升肾上腺素似的,有着使不完的力气。
甚至有时侯连吃饭都嫌浪费时间,干脆一天只吃一顿。
美其名曰:有这时间,待在实验室盯数据不好吗!?
不过。
偶尔蒋墨和房怀年也会讨论。
被林决带飞的感觉不要太爽,以后要是不能和他一起搞科研,人生那得多无趣了啊!?
这些专家组的人是爽了。
但黄作平这个副所长可头疼得不行。
因为他是生怕老教授倒在实验室啊!
他一个小小所长,可担不起这个责任。
所以,好些时侯黄作平只能苦苦哀求。
让这些不要命了似的的老教授们回家休息。
“真是一场酣畅淋漓的测试啊,简直跟便秘时用了开塞露一样畅快!”
蒋墨似乎还在回忆。
房怀年:“????”
卢敬尧:“????”
陈望山:“????”
其余众人:“。。。。。。。”
林决只觉得眼前一黑。
我超威。。。。。
蒋老您要比喻给我找个好点儿的啊!
见气氛忽然尬住,蒋墨这才回过神来,有些尴尬一笑,
“那什么。。。。。不好意思,忽然就想到了,没忍住就说出来了。”
房怀年嘴角一抽,“老墨你好歹一文化人,怎么能如此粗俗?”
卢敬尧:“确实。”
蒋墨翻了个白眼,强撑场面道,
“老卢啊,你就别搁这确实了,难道只会说这句话?”
“确实。”
蒋墨:“。。。。。。”
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