短暂的兴奋过后,肖光楠的表情再次变得凝重起来。
他的激光笔,指向了一大片密密麻麻,标注着“deposition”的区域。
“马总,接下来这个,才是我们目前另一个十分薄弱的环节——薄膜沉积。”
“晶圆生产,就像在指甲盖大小的芯片上盖无数层高楼。光刻机是画图纸的,蚀刻机是雕刻的,而薄膜沉积,就是铺设每一层‘楼板’和‘墙体’的。”肖光楠解释道。
“我们的28纳米工艺,需要超过50道薄膜沉积工序。而我们正在攻关的14纳米,因为结构更复杂,需要用到双重曝光,这个数字会暴增到80道以上!”
他进一步介绍道。
“这主要分为cvd(化学气相沉积)、pvd(物理气相沉积)和ald(原子层沉积)三大类。国内在cvd上,总算有了一些突破。两年前,在国家半导体大基金的支持下,拓晶科技成功研制出了国产第一台12英寸pecvd设备,并且在我们和东芯国际的产线上完成了验证,性能稳定。这是我们为数不多的亮点。”
话锋一转,他的语气充满了忧虑。
“但是,在更关键的pvd和ald设备上,我们国内几乎是空白!全球市场被花旗国的应用材料公司和泛林集团牢牢把控着,两家加起来就占了超过一半的份额。一旦他们下死手,我们这条14纳米产线,随时可能因为缺少某一道关键薄膜而全线停摆!那就是真正的空中楼阁!”
死一般的寂静。
如果说光刻机是卡脖子,那薄膜沉积设备,就是断了全身的筋脉。
马宇腾死死地盯着白板上那片被标为深红色的pvd和ald区域,大脑飞速运转。
突然,他开口问道:“制裁令目前只针对花旗国技术,暂时没有强制要求他们的盟友跟进,对吧?”
肖光楠一愣,随即答道。
“是的,目前脚盘国和欧罗巴的企业除asml外还没有收到强制禁令,但谁也说不准他们什么时候会跟进施压……”
“那就够了!”马宇腾猛地一拍桌子,打断了肖光楠的话。
“时间差!这就是我们的机会!”他站起身,语气斩钉截铁地命令道。
“老肖,你立刻联系东京电子,不惜一切代价,和他们签署深度合作协议!先把他们现有的先进pvd和ald设备都搬回来,并争取签订未来三到五年的供货协议,尽量锁定货源!”
“记住,一定要快,即使加价也在所不惜!必须在花旗国政府反应过来之前,把货拉回来!”
马宇腾的这个指令,让肖光楠眼前一亮。
没错,花旗国是霸道,但它的盟友体系并非铁板一块。
只要禁令没有形成法律效力的强制文件下达到脚盘国和欧罗巴的企业,那一切就还有操作的空间!