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第762章 28纳米制程的进展

回到办公室的马宇腾,很快就将贾耀庭这个人抛在了脑后。

对他而,这不过是一段无关紧要的插曲。

以雷霆汽车已经取得的成绩,不管对方想做什么,基本上造不成任何实质性的影响。

当天下午,马宇腾按照计划抵达位于鹏城的芯片工厂时,半导体事业群的负责人肖光楠已经在门口等候。

“老板。”肖光楠快步迎了上来。

“28纳米制程的情况怎么样?”马宇腾一边走,一边直接问道。

“一切顺利,梁博士和胡教授都在实验室里等您。”肖光楠的脸上难掩兴奋。

穿过长长的无尘通道,进入核心研发区,马宇腾一眼就看到了正站在一台设备前低声讨论的梁锰颂和胡政明。

“胡教授,梁博士,辛苦了。”马宇腾主动上前,热情地打着招呼。

看到马宇腾亲自前来,两位技术专家也停下了讨论。

梁锰颂扶了扶眼镜,主动上前一步,开始汇报工作。

“马总,您来得正好。我们的28纳米制程,已经按照既定计划,全线贯通了!”

他指向身后复杂的设备管线,语气中充满了自信。

“我们完全按照之前定下的‘高介电常数金属栅极’,也就是hkmg技术路线,从栅极的材料选择,到沉积工艺的参数调校,再到后续的刻蚀与清洗,已经完整地走通了全流程,并且关键参数都达到了设计预期。”

听到这个消息,马宇腾心中一块石头落了地。

梁锰颂接着说道:“虽然对比今年上半年就宣布规模量产的台积电,我们这个技术突破的节点确实晚了一些。但我们对工艺流程的理解非常透彻,我有信心,在接下来的良率爬坡阶段,我们能走得比别人更快,有机会追赶上刚完成突破不久的三星电子。”

“做得好!”马宇腾毫不吝啬自己的赞扬。

“进度晚一点不要紧,关键是技术要吃透,基础要打牢。你们团队的功劳,公司都记着。”

简单的鼓励后,马宇腾的目光转向了一旁含笑不语的胡政明。

“胡教授,28纳米这边稳住了阵脚,我们那个‘弯道超车’的秘密武器,现在进展如何了?”

他问的,自然是finfet技术。

胡政明这位半导体领域的泰斗,闻笑了起来,身上散发着一种成竹在胸的学者气质。

“马总放心,一切都在计划之中。”

他解释道:“finfet技术的核心在于立体的晶体管结构,这需要对刻蚀和薄膜生长工艺有极高的要求。目前,我们实验室正在基于现有的技术储备,推进关键工艺模块的开发。”

这位老人眼中闪烁着智慧的光芒,说出了一个具体的计划。

“我们下一步,准备在刚刚打通的28纳米产线上,进行小范围的finfet结构工艺试验。这不仅可以验证我们的技术方案,还能为团队积累宝贵的3d晶体管制造经验。有了这些数据和经验打底,我们再转向14纳米的全面攻关,就会事半功倍。”

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