无数身穿白色无尘服的工程师,正在紧张地安装、调试着一台台崭新的设备。
这里,正是雷霆工业投资建设的全新65纳米制程晶圆产线。
“马总,目前产线的设备已经到货了百分之九十,正在进行安装和管线连接,预计再有三个月,就可以进行首次通线试产。”
刘永峰在一旁介绍道。
马宇腾一边听,一边仔细观察着那些贴着不同厂商标签的设备,开口问道:“国产设备的比例,达到我们预期的目标了吗?”
这才是他今天视察的重点。
刘永峰立刻回答:“是的,马总。按照您之前的指示,这条产线,我们尽了最大努力去扶持国内的设备厂商。”
他指着不远处一台正在安装的庞大机器说道:“那台,是东微半导体最新型号的电介质体刻蚀机,性能已经可以对标国际二线厂商的水平。”
他又指向另一个区域。
“那边正在安装的,是来自京城东创电子的pvd和cvd薄膜沉积设备。虽然在一些关键指标上还有差距,但用在65纳米节点上,经过我们的工艺调试,是完全没有问题的。”
“此外,张老前几年离开东芯国际后,在魔都创立的新升半导体已经实现了8英寸硅片的研发,我们也拿到了样品,正在进行详细的测试。”
刘永峰的语气里既有欣慰,也带着一丝遗憾。
“只可惜,在最关键的光刻机环节,我们还是没能等到好消息。魔都微电子那边,虽然投入巨大,但duv光刻机的研发迟迟未能取得突破性进展。所以这条产线的光刻机,我们还是采购了来自尼康生产的设备。”
马宇腾的脚步停在目前的这台光刻机前,沉默不语。
这台机器,就是整个半导体产业链冠冕上的明珠,也是东大工业体系最痛的短板。
似乎是看出了马宇腾的思虑,刘永峰补充了一句。
“不过,马总,我倒是听魔都微电子的朋友说起,他们前几年和科学院光电研究所进行合作,研发用于光刻机的固态深紫外光源,在实验室里已经取得了一定的成果。”
这个消息让马宇腾的眼神亮了一下。
固态光源,这正是当初马宇腾提出的设想,一条有可能绕开所有现有专利壁垒的全新的技术路线,没想到似乎真的有可能实现。
“这个方向要持续关注。”马宇腾对刘永峰说道,语气十分郑重。
他环视着整个正在建设中的产线,对刘永峰的工作给予了肯定。
“你做得很好,永峰。我知道,用国产设备意味着要承担更多的风险,要投入更多的精力去做工艺匹配和调试。但这条路,我们必须走。”
马宇腾的目光望向窗外,仿佛穿透了时空。
“现在,东大和花旗国的关系尚可,加上我们有摩托罗拉这层关系,申请设备采购许可还算顺利。但是,我们要看得更远一些。一旦我们的技术继续向先进制程迈进,一旦我们真正触碰到了他们的核心利益,今天的便利随时都可能变成最严酷的封锁。”
他的声音不大,但在场的每一个人都听得清清楚楚。
“所以,我们必须未雨绸缪。扶持国内的设备和材料厂商,不仅仅是为了降低成本,更是为了在我们自己的产业链上,打下足够深的桩基。只有这样,未来当风暴来临的时候,我们才能站得稳,不至于被人一推就倒。”
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