又是老厂子,有感情。
还给他一个董事长职位。
他此时已经想点头,只是强忍着几分矜持。
陈学兵也尽于此,给张汝京递了个眼神。
张汝京领会,拉着邱慈云去一边:“老邱啊,以前没有认可你的路线是我的问题,你看,季明华,周梅生,涂良山这些你的老部下,我都提拔到工程副总裁,厂长。”
俩人聊着走远。
留下梁孟松,盯着那个空荡荡的超洁净室,忽然道:“你确定下个月资金能到位,我就请张总联系aml下新的订单了,等机器到了我还要做很多改动,需要些时间,最好能一次拿三台,定制套件会方便一些。”
“没问题。”陈学兵笃定道。
说着,心里又是惊叹。
这神人居然还能改aml的新机器。
“对了,你那天说t1900做fnft至少要三台联动,如果aml下一代浸没式出来,单次曝光的制程节点更进一步,那就不需要这么多机器了吧?”
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“不能。”梁孟松打量了他一眼,道:“我已经解释过了,需要多台机器这是工序问题,多重曝光的原理是把一个复杂图形拆分成多个简单图形,更好的光刻机只是能让每个工序做更快一些,提高总体产出。”
梁孟松说到这里又再打量他,眼神里有些疑色。
“而且t1900在单次曝光制程上已经很难进步,快到极限了,你不知道?”
陈学兵有点懵了。
我又不是专家,上哪知道去?
而且这才2007年,你跟我说极限?
“不可能吧?不是听说aml在研究下一代吗?”
梁孟松见他瞪眼加迷茫,这才细细解释道:
“光刻机的精度提升,离不开一个公式,叫瑞利判据。
“需要线宽更小,就必须减小分子,扩大分母,分子k目前的进步十分缓慢,λ波长是193nm,af光源,这也无法更改了。
“所以,下一代光刻机,大概率只能从套刻精度上下功夫,提升多重曝光的能力,而单次曝光的极限很难提升了。”
这次梁孟松讲很慢,而且很细,陈学兵边听边想,仍皱眉头。
“那个。水介质,也就是浸没式,不是降低光源波长来提升制程吗?怎么变成提升na值了?”
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“。”
梁孟松的眼神和陈学兵对上,陈学兵恍惚间看到了他中午对着王兴一般的无语。
不,好象还要更无语。
“你从哪学的伪科学?光源的波长进入任何物质都不会被改变,这是七年级物理课内容。”
“。我学文科的,再说我们大陆课程和你们不一样,初二才有物理,能搞懂干式和浸没式的区别就不错了。”陈学兵强行挽尊。
“好吧。”梁孟松倒也没有纠结,反而赞赏起来:“也是,你这样的投资人愿意了解这些,不多见。”
陈学兵口罩下重新微笑,心里也逐渐清淅起来。
“那工艺因子k,听起来是和工艺相关?是各个厂家的技术决定吧?”。”
陈学兵听着,有了判断。
那这个k确实很难产生很大进步了。
波长不能变,na接近极限。
除了通过提升套刻精度搞更多重的曝光,v已经难有提升了。
他这么一想,对v就愈发有危机感。
v光源的波长缩短十几倍,分子不是一下就缩小了十几倍?
“v你了解吗?”陈学兵试探着问道。
他之前问过张汝京同样的问题,到的是否
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